中山大学电子与信息工程学院电子束光刻机（升级改造）采购项目

A****点击查看0502非金属材料试验机

设备名称：电子束光刻机（升级改造） 数量：1套 用途：旨在更新改造混合集成芯片先导线的既有电子束光刻设备。设备升级改造内容包含配套激光光纤（含耦合器）、配套激光光源、配套镜筒样品仓隔离阀升级套件、数量不少于3 套的肖特基热场发射灯丝及配套光阑组件以及新版曝光系统的主控电脑及曝光控制软件。 技术要求（仅列主要，详见采购文件）： 1. 配套激光光纤（含耦合器） 2. 配套激光控制器及激光光源 3. 配套镜筒样品仓隔离阀升级套件 4. 肖特基热场发射灯丝及配套光阑组件，数量不少于 3 套 5. 匹配30 kV曝光系统的主控电脑及曝光控制软件 交付时间要求：2025年10月15日之前 交付地点要求：**市**区****点击查看南校园557栋 售后服务要求（含培训）： 售后服务：供应商应提供设备出厂检验合格证明材料。保修期内，凡属正常使用情况下，因产品质量问题引起的硬件故障，给予及时维修和技术咨询，24 小时内响应并给出解决方案。 安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在2周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于15个工作日内完成。 培训要求：负责设备使用及安全操作规范培训。 具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。