空天信息大学(筹)光刻及表征设备采购项目（11196）更正公告

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原公告的采购项目名称：****点击查看(筹)光刻及表征设备采购项目（11196）

首次公告日期：2025年09月08日

二、更正信息

更正事项：采购文件

更正内容：

1包项目需求和技术方案-货物明细:4；8英寸光刻机，原内容：1.光刻分辨率： ≤ 0.8 m（真空接触、光刻胶厚度≤ 1 m时、等间距图形Line/Space=1:1，200mm范围内5点）； ≤3.0 m（20m间隙，光刻胶厚度≤ 1 m时，等间距图形Line/Space=1:1,200mm范围内5点）；->变更为：1.光刻分辨率： ≤ 1 m（真空接触、光刻胶厚度≤ 1 m 时、等间距图形 Line/Space=1:1，200mm 范围内 5 点）； ≤3.0 m（20m 间隙，光刻胶厚度≤ 1 m 时，等间距图形Line/Space=1:1,200mm 范围内 5 点）；。

1包项目需求和技术方案-货物明细:4；8英寸光刻机，原内容：6.曝光灯：LED曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强，使用寿命＞5000小时，无需气体冷却，曝光光强：≥ 55mW/cm^2 @365nm；≥ 140mW/cm^2 @UV全波段，光强均匀度：≤ ±2.5％@8英寸；->变更为：6.曝光灯：LED 曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强，使用寿命＞5000 小时，无需气体冷却，曝光光强：≥ 35mw/cm^2 @365nm；≥ 90mw/cm^2 @UV全波段,光强均匀度：≤ ±2.5％@8 英寸；。

更正日期：2025年09月10日

三、其他补充事宜

无

四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：****点击查看(筹)

地 址：山****点击查看大学路2号

联系方式：0531-****点击查看6093

2.采购代理机构信息

名 称：****点击查看

地 址：****点击查看**区二环南路6636号8楼805室

联系方式：0531-****点击查看4009

3.项目联系方式

项目联系人：张兆冉

电 话：0531-****点击查看9933