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序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
****点击查看 | 彩膜自动外观检查装置-在线/离线 | 6台 | 设备用途及基本要求: 该设备具备通过照明与检查镜头检查基板的产品以及测量CD OVL值的功能,并具备将检查结果自动上传到数据服务器的功能。目的是检出基板上的产品缺陷以及测量线宽偏差量。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
4197-244ZLCP10001/45 | 阵列显影后光学检查装置 | 6台 | 设备用途及基本要求: 该设备具备pattern检查功能、Macro图像合成功能和CD测定功能。能够检出基板pattern缺陷、Mura缺陷和测量线宽。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000/USD1650 |
4197-244ZLCP10001/46 | 阵列自动外观检查装置 | 4台 | 设备用途及基本要求: 该设备具备pattern检查功能和CD测定功能。能够检出基板pattern缺陷和测量线宽。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |