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Parylene真空镀膜设备一体机 | 项目编号****点击查看 | |
2025-03-24 09:09:13 | 公告截止日期2025-03-27 11:00:00 | |
****点击查看 | 付款方式预付40%,到货后支付50%,验收合格后支付10% | |
联系电话 | ||
到货时间要求 | 签约后3个自然日 | |
¥480000.00 | ||
**市**区转塘街道**路2号澹海金座3号楼101室(**光电) | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
Parylene真空镀膜设备一体机 | 1 | 台 |
¥ 480000.00 |
一、真空系统 常压下,真空抽气速度不低于14.4m3/H, 极限1pa,空机状态下15分钟内小于2Pa; 二、冷凝系统 1. 采用独立机械冷机制冷,冷凝器探头可方便取出进行清洁; 2. 最低冷凝温度低于-90℃(25℃环境下);从室温到-70℃不超过30分钟;-70℃以上自动警报; 三、蒸发系统 1.需配备不锈钢耐高温腔体,0-250℃,温度偏差±2℃;蒸发室及料门同步加热,以保证蒸发室内温度分布均匀; 2. 蒸发室装载原料容量不小于150g; 四、裂解系统 需配备不锈钢+石英管耐高温腔体,650℃-800℃,控温精度:误差<2℃; 五、沉积系统 1. 采用U型坚实的不锈钢腔体,电抛光处理,带玻璃观察窗,腔体内尺寸不低于直径480*高480mm; 2. 沉积腔具有导流装置,带有旋转料盘、工料架(载具)及均匀气流分布的挡板; 3. 不用移除沉积腔,便能方便工件取放及清洁维护; 六、程控系统 PLC程控系统,需具备全功能手自动、触摸屏式人机交换、工作参数数据自动记录保存、真空压力异常报警、温度异常报警、设备保养自动提醒; 七、安全性能 1. 设备加热部件均带有热保险,在控制系统出现故障时可切断加热器,防止部件损害和火灾; 2. 设备的高温、低温部位有相应的安全警示标志。 八、其它 1. 电源:单相220V,>16平方电源线; 配线:单相一零一火一地; 2. 气体:输入压缩空气:5-8KG ; 输出:40mm-60mm排气软管; 3. 主机占地尺寸:长宽高不超过1700*800*1500mm,冷冻机尺寸不超过400*500*600mm,符合人体工学高度,操作方便。 九、若为进口设备投标,请按人民币报价(报价需包含外贸代理费)。 |
服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务年限:五年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |