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| 石英和碳化硅耗材一批 | 项目编号****点击查看 | |
| 2024-12-16 16:14:03 | 公告截止日期2024-12-23 12:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 成交后3个工作日内 | |
| ￥496877.95 | ||
| **省**市**区****点击查看****点击查看中心水博园区A03-103 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 碳化硅边界环 | 1 | 件 | 其他矿与矿物 |
| 0200-23002,EDGE RING, 300MM OXIDIZED UNIRING,AMAT Vantage；"功能及用途：在反应腔体中承载硅片，为得到更好的退火均匀性，边界环在反应腔体中需以特定旋转速率旋转。因碳化硅极强的热传导性能才能保证硅片与边界环接触的部分不会被传导热量。 规格：厚度0.1cm*内径29cm*外径33cm，熔点：2730°C，密度：3.21g/cm3-3.23g/cm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介电常数：9-10，热导率：120-150W/(m﹒K)，晶格常数a=3.07，c=15.117，折射率no=2.55，ne=2.59" |
| ￥ 107067.50 |
| 0200-23002,EDGE RING, 300MM OXIDIZED UNIRING,AMAT Vantage；"功能及用途：在反应腔体中承载硅片，为得到更好的退火均匀性，边界环在反应腔体中需以特定旋转速率旋转。因碳化硅极强的热传导性能才能保证硅片与边界环接触的部分不会被传导热量。 规格：厚度0.1cm*内径29cm*外径33cm，熔点：2730°C，密度：3.21g/cm3-3.23g/cm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介电常数：9-10，热导率：120-150W/(m﹒K)，晶格常数a=3.07，c=15.117，折射率no=2.55，ne=2.59" |
| 石英窗 | 1 | 件 | 其他矿与矿物 |
| 0200-07958,Ouartz Window(ISSG),AMAT Centrua ACP RTP Radiance Plus；"功能及用途：隔绝灯泡和工艺腔体，高纯石英利于热传导。 规格:厚度 0.9cm*直径41cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C " |
| ￥ 16837.00 |
| 0200-07958,Ouartz Window(ISSG),AMAT Centrua ACP RTP Radiance Plus；"功能及用途：隔绝灯泡和工艺腔体，高纯石英利于热传导。 规格:厚度 0.9cm*直径41cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C " |
| 石英阀板 | 2 | 件 | 其他矿与矿物 |
| 0041-07783,Slit Valve PlateW/O-ring,AMAT Centrua ACP RTP Radiance Plus；"功能及用途：隔绝外界和工艺腔体，在工艺开始前和结束后，打开阀板以便机械手臂刀板传送硅片进出反应腔体。 规格:厚度 0.9cm*直径41cm。 材料纯度:高纯度99.9999%。 |
| ￥ 14644.80 |
| 0041-07783,Slit Valve PlateW/O-ring,AMAT Centrua ACP RTP Radiance Plus；"功能及用途：隔绝外界和工艺腔体，在工艺开始前和结束后，打开阀板以便机械手臂刀板传送硅片进出反应腔体。 规格:厚度 0.9cm*直径41cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C " |
| 石英高温计 | 1 | 件 | 其他矿与矿物 |
| AMAT Centura ACP,0010-44213,Pyrometer；"功能及用途：通过探针收集黑体辐射数据再调节灯泡功率以达到精准控温。 规格:长度 20cm*直径0.3cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C " |
| ￥ 104864.00 |
| AMAT Centura ACP,0010-44213,Pyrometer；"功能及用途：通过探针收集黑体辐射数据再调节灯泡功率以达到精准控温。 规格:长度 20cm*直径0.3cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C " |
| 石英探针 | 1 | 件 | 其他矿与矿物 |
| 0041-12192,REFLECTOR PLATEPROBE INJECT,AMAT Centrua ACP ISSG；"功能及用途：腔体进入快速热退火工艺后，灯泡快速升温照射，收集透过硅片后产生的黑体辐射。 规格:长度 20cm*直径0.3cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C " |
| ￥ 110288.00 |
| 0041-12192,REFLECTOR PLATEPROBE INJECT,AMAT Centrua ACP ISSG；"功能及用途：腔体进入快速热退火工艺后，灯泡快速升温照射，收集透过硅片后产生的黑体辐射。 规格:长度 20cm*直径0.3cm。 材料纯度:高纯度99.9999%，折射率：1.4585，表面平整度误差不得大于2mm，平面度误差不得大于1.5mm/m，直角度误差不得大于0.2mm/m 莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C " |
| 石英顶针 | 1 | 件 | 其他矿与矿物 |
| AMAT Centura ACP,0041-04435,ASSY, BELLOWS, LIFT PIN；"功能及用途：硅片进入反应腔体时承载硅片，通过垂直下降将硅片落入边界环中，通过垂直上升举起硅片，以便于机械臂刀板抓取硅片。 规格:长度 20cm*直径0.3cm，表面磨砂处理，减少光反射。 材料纯度:高纯度99.9999%，莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C " |
| ￥ 6774.35 |
| AMAT Centura ACP,0041-04435,ASSY, BELLOWS, LIFT PIN；"功能及用途：硅片进入反应腔体时承载硅片，通过垂直下降将硅片落入边界环中，通过垂直上升举起硅片，以便于机械臂刀板抓取硅片。 规格:长度 20cm*直径0.3cm，表面磨砂处理，减少光反射。 材料纯度:高纯度99.9999%，莫氏硬度：5.5 - 6.5 Mohs' Scale 570 KHN 100，热膨胀系数（20℃-320℃）：5.5 x 10-7 cm/cm °C ，20℃的导热系数：1.4 W/m °C ，软化点：1683 °C ，退火点：1215 °C ，应力变化点：1120 °C " |
| 碳化硅反射板 | 1 | 件 | 其他矿与矿物 |
| 0041-12156,REFLECTOR PLATE,INJECT, 300MM RADIANCE,AMAT Vantage；"功能及用途：置于反应腔体底部，表面特殊的热反射涂层（主要含无机材料如SiO2、MgF2、Al2O3、TiO2、ZrO2等）具有特定的折射率，通过精确控制涂层的厚度和折射率，可以使得不同波长的光线在涂层表面发生相消干涉，从而减少反射光的强度，提高透光性能。 规格：厚度2.2cm*直径32cm，熔点：2730°C，密度：3.21g/cm3-3.23g/cm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介电常数：9-10，热导率：120-150W/(m﹒K)，晶格常数a=3.07，c=15.117，折射率no=2.55，ne=2.59" |
| ￥ 121757.50 |
| 0041-12156,REFLECTOR PLATE,INJECT, 300MM RADIANCE,AMAT Vantage；"功能及用途：置于反应腔体底部，表面特殊的热反射涂层（主要含无机材料如SiO2、MgF2、Al2O3、TiO2、ZrO2等）具有特定的折射率，通过精确控制涂层的厚度和折射率，可以使得不同波长的光线在涂层表面发生相消干涉，从而减少反射光的强度，提高透光性能。 规格：厚度2.2cm*直径32cm，熔点：2730°C，密度：3.21g/cm3-3.23g/cm3，莫氏硬度：9.0-9.5，介电常数：9-10，热导率：120-150W/(m﹒K)，晶格常数a=3.07，c=15.117，折射率no=2.55，ne=2.59" |
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