技术参数及配置要求 配置: 基础设备参数 高精度操作台: a. 四轴可调衬底载物平台: 样品台温度可以在室温-220℃范围控制,精度±0.1℃ 四轴可调:XYR+倾角调节 (1)XY行程13/25mm可选; (2)R旋转轴手动旋转任意角度; (3)X方向水平倾斜角-10~10度; b. 载玻片移动平台:载玻片XYZR+倾角调节五轴可调 (1)XY行程13/25mm可选调节精度1um; (2)Z轴粗调1um精度,细调0.5um精度; (3)R旋转方便安装载玻片,任意角度旋转; (4)Y方向水平倾斜角-10~10度; c. 真空自动吸附样品,风冷样品台气路。 d. 悬臂与样品台贴合时,视野调节XY方向25x25mm。 电动面内旋转模块及控制器,最小旋转精度0.005度 电动样品Z轴升降及控制器,行程范围10mm,最小行程精度0.5um。应用方向:异质结慢速贴合,手套箱内自动贴合等 悬臂电动X/Y两轴精密位移平台,行程范围20mm。 电动调焦显微镜模块,五个位置存储,一键聚焦样品位置。 电动调焦显微镜模块;电动物镜替换模块 国产金相显微镜 C 接口 CTV0.5(0.5X 摄像接筒、 C 型接口) 目镜 PLN10X22mm 一对,五孔物镜转换器 光源反射灯室 100-240V 宽电压,单颗大功率 5W LED,暖色 长工作距平场消色差金相物镜,5X/0.15 ,10X/0.3 ,20X/0.45 ,50X/0.55 |